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MEMS器件微探針系統(tǒng)
LCC芯片微探針系統(tǒng)
壓電驅(qū)動微探針系統(tǒng)
型號:MPS-PT/MPS-PTH/MPS-PT6C/MPS-PTH6C/MPS-PT8C/MPS-PTH8C/MPS-PT28/MPS-PTH28
溫度范圍:-40℃ – 200℃
加熱方式:帕爾貼變溫
樣品臺尺寸:19 X 19mm
探針數(shù)量:4/6/8個可選,28/48pin無引腳芯片載體
測試環(huán)境:氣氛、真空、濕度、光照
探針移動方式:手動/壓電驅(qū)動
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