LCC芯片微探針系統(tǒng)主要用于無引腳芯片載體和塑料引腳芯片載體的電學(xué)及光學(xué)性能表征，具備變溫、真空等測試功能，高真空氣密樣品腔室,可充入保護(hù)性氣體，獨立溫度控制。

型號：LCCMPS-PT28(48)/LCCMPS-PTH28(48)/LCCMPS-LN28(48)/LCCMPS-VAC28(48)/LCCMPS-VAH28(48)

溫度范圍：-40-150℃（帕爾貼變溫）/ 80K-RT（液氮變溫）

溫度穩(wěn)定性和精度：0.1°C

樣品臺尺寸：可根據(jù)芯片尺寸定制

引腳數(shù)量：24/48pin，其他可定制

腔體尺寸：70*140*31.5mm

腔體重量：650-950g

腔體體積：100 CC

極限真空度：10^-3mbar（機(jī)械泵）/ 10^-6mbar（分子泵）