MEMS器件微探針系統(tǒng)主要用于MEMS器件在變溫、真空、氣氛等測試環(huán)境下的電學(xué)及光學(xué)性能表征，獨(dú)特設(shè)計(jì)確保在低溫下，腔體不產(chǎn)生結(jié)霜影響實(shí)驗(yàn)，又可以防止樣品發(fā)生氧化。

溫度范圍： 80K-RT / -40℃ – 200℃ / RT-450℃ /RT-750℃

溫度穩(wěn)定性和精度：0.1°C

樣品臺尺寸：可根據(jù)MEMS尺寸定制

探針：標(biāo)配8個,其他可定制

探針類型：鉻鎳合金/鎢/銠/鍍金

探針接口：標(biāo)準(zhǔn)同軸或三軸接口

探針移動方式：手動移動，可選壓電驅(qū)動

腔體尺寸：70*140*31.5mm

腔體重量：650-950g

腔體體積：100 CC

極限真空度：10^-3mbar（機(jī)械泵）/ 10^-6mbar（分子泵）