壓電微探針系統(tǒng)借助于壓電驅(qū)動定位器確定探針位置，為穩(wěn)定性和高分辨率要求的樣品提供了完美的電學(xué)表征解決方案，高真空氣密樣品腔室,可充入保護(hù)性氣體，獨(dú)立溫度控制。

型號：PMPS-PT4C/PMSP-PTH4C/PMPS-CHL4C/PMPS-CHH4C/PMPS-CHU4C/PMPS-LN4C/PMPS-VAC4C/PMPS-VAH4C

溫度范圍：77K-RT / -40℃ – 200℃ / RT-450℃ / RT-750℃

溫度穩(wěn)定性和精度：0.1°C

樣品臺尺寸：可根據(jù)樣品尺寸定制

探針： 4個

探針類型：鉻鎳合金/鎢/銠/鍍金

探針接口：標(biāo)準(zhǔn)同軸或三軸接口

探針移動精度：<1um（與溫度、真空度有關(guān)）

壓力：1N（100g）

最大移動速度：15mm/s

X/Y移動行程：8mm

Z軸移動行程：33mm

腔體尺寸：70*140*31.5mm

腔體重量：650-950g

腔體體積：100 CC

極限真空度：10^-3mbar（機(jī)械泵）/ 10^-6mbar（分子泵）