許多應(yīng)用需要在進(jìn)行顯微鏡或光譜觀察的同時(shí)測(cè)量電學(xué)參數(shù)。在NEXTRON，多年來(lái)我們一直在為微電子和半導(dǎo)體領(lǐng)域創(chuàng)建樣品表征解決方案。我們?cè)O(shè)計(jì)和制造的樣品表征室具有精確的溫度控制，范圍從<-195℃到1000℃。樣品室的環(huán)境可以被控制，可以選擇氣體吹掃、控制真空或濕度。NEXTRON微探針系統(tǒng)可以安裝電氣連接或金尖鎢針探針，以便測(cè)量樣品的電氣特性及其隨溫度的變化。NEXTRON微探針系統(tǒng)與光鏡和光譜技術(shù)兼容，包括拉曼、FT-IR和X射線(xiàn)。