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MEMS器件微探針系統(tǒng)
LCC芯片微探針系統(tǒng)
壓電驅(qū)動微探針系統(tǒng)
型號:MPS-LN/MPS-LN6C/MPS-LN8C
溫度范圍:80K -RT
樣品臺尺寸:15mm
探針數(shù)量:4個,28/48pin無引腳芯片載體
測試環(huán)境:氣氛、真空、濕度、光照
探針移動方式:手動/壓電驅(qū)動
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