接線端微探針系統(tǒng)主要用于電氣連接元器件的在變溫、真空等測(cè)試環(huán)境下的電學(xué)及光學(xué)性能表征。

溫度范圍：80K-RT / -40℃ – 200℃ / RT-450℃ /RT-750℃

溫度穩(wěn)定性和精度0.1°C

樣品臺(tái)尺寸：可根據(jù)樣品尺寸定制

探針：0-6個(gè)

探針類(lèi)型：鉻鎳合金/鎢/銠/鍍金

探針接口：標(biāo)準(zhǔn)同軸或三軸接口

探針移動(dòng)方式：手動(dòng)移動(dòng)，可選壓電驅(qū)動(dòng)探針

X/Y軸移動(dòng)行程：12mm，Z軸移動(dòng)行程：2mm

針腳數(shù)量：9個(gè)/24個(gè)，其他可定制

腔體尺寸：70*140*31.5mm

腔體重量：650-950g

腔體體積：100 CC

極限真空度：10^-3mbar（機(jī)械泵）/ 10^-6mbar（分子泵）