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MEMS器件微探針系統(tǒng)
LCC芯片微探針系統(tǒng)
壓電驅動微探針系統(tǒng)
精密壓力控制系統(tǒng)壓力控制范圍范圍-選擇- 選項1:0.001 ~ 1 Torr- 選項2 : 1 ~ 1000 Torr- 選項3 : 0.001 ~ 1000 Torr精密真空壓力控制系統(tǒng)可以通過調整流量來控制所需氣體的部分壓力。軟件可以自動獲取并維護它作為一個方法。
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