緊湊型壓電驅(qū)動(dòng)微探針系統(tǒng)借助于壓電驅(qū)動(dòng)定位器確定探針位置，為穩(wěn)定性和高分辨率要求的樣品提供了完美的電學(xué)表征解決方案，基于帶有線性滾珠軸承的超緊湊壓電驅(qū)動(dòng)定位器，非常適用于微型定位需求。可廣泛應(yīng)用在納米表面分析、材料科學(xué)、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。

緊湊型壓電驅(qū)動(dòng)微探針系統(tǒng)采用4個(gè)超小尺寸壓電驅(qū)動(dòng)移動(dòng)探針，能夠以微米級(jí)的分辨率獨(dú)立定位電子探頭，多功能，便攜，該解決方案的組件旨在最大限度地減少其在實(shí)驗(yàn)裝置上的占地面積，并在直立和倒置光學(xué)顯微鏡，真空腔體，探針臺(tái)，AFM，光學(xué)面板等無縫安裝。通過軟件應(yīng)用程序的控制板直觀地進(jìn)行參數(shù)化和移動(dòng)，從而進(jìn)行實(shí)驗(yàn)微米級(jí)移動(dòng)，降低了損壞敏感樣品的風(fēng)險(xiǎn)。

典型參數(shù)：

移動(dòng)速度：15毫米/秒
行程（X、Y軸）： 8毫米
行程(Z軸)：3毫米
壓力：250gf ~ 300gf
移動(dòng)范圍：20 x 20 x 30mm
移動(dòng)精度：< 1um (取決于溫度和真空度) 精密真空壓力控制系統(tǒng)

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